physical vapor deposition
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物理气相沉积
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1、
将晶体中原子的概率分布定义为原子云，解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因，建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型。
来源：互联网摘选 -
2、
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3、
The deposition methods include mainly physical vapor deposition and thermal spraying techniques.
准晶薄膜的制备方法主要有物理汽相沉积法和热喷涂法两大类。
来源：互联网摘选
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